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超廉價 手機專用單鏡片掃描投影問世
   中國投影網資訊     [2006-2-10 10:48:55]      編輯:姻姻
　　日本產業(yè)技術綜合研究所開發(fā)出了一種可低成本實現高清投影機的新技術，通過以二維方式掃描單鏡片，可顯示高清圖像。并在日前召開的“MEMS 2006”會議上進行了技術發(fā)表。用于掃描激光的鏡片驅動元件采用金屬沖壓技術而不是MEMS技術。

　　單鏡片方式掃描顯示器能夠以較低的成本和較小的尺寸實現大屏幕顯示。比如，嵌入手機的投影機和筆型投影機等產品的實現將成為可能。為此，眾多企業(yè)和研究機構都在進行開發(fā)。

單鏡片方式掃描技術


　　此次的技術利用尺寸約為4mm×8mm、厚度約30～50μm的不銹鋼（SUS304）形成鏡片驅動部。通過在這個部分形成PZT，即可實現基于壓電元件的致動器�？赏ㄟ^施加給致動器的電壓控制這種不銹鋼板起伏波動。并利用這種運動掃描鏡片（1mm×0.3～1mm）。

　　據負責此次開發(fā)工作的產綜研尖端制造工藝研究部門集成加工研究小組稱，這項技術具有兩個特點：（1）利用金屬實現驅動部；（2）利用ADM實現PZT膜。由此就實現了低成本、高速驅動。

　　通過（1）利用不銹鋼實現驅動部，能夠得到數十kHz的共振頻率，從而就能進行高速掃描。要想顯示高清圖像，必須以36kHz的頻率進行掃描。而此次開發(fā)的技術現已確證能夠以50kHz的頻率進行掃描。這是靠金屬沖壓加工實現的，與利用MEMS技術進行硅加工相比，能夠降低成本。

　　（2）PZT膜的形成采用了ADM（aerosol deposition method，氣膠成長法）技術。與基于普通MEMS工藝的薄膜形成技術相比，能夠減少工序、降低成本。



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文章來源:日經BP社
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